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产品分类
产品简介
碳化硅陶瓷具有化学性能稳定、耐高温、耐磨损、耐腐蚀、导热系数高、热膨胀系数小、机械强度高等优点，广泛应用于能源环保、半导体、国防**等领域。
主要产品
碳化硅舟托 碳化硅舟托应用于光伏电池片扩散、LPCVD等环节，替代传统石英舟托。采用一体成型、承载能力远远强于石英舟托，且寿命是石英的5倍以上，目前舟托的尺寸上限超过2米7。 | 碳化硅舟 碳化硅舟应用于光伏电池片扩散、LPCVD等环节的wafer承载，替代传统石英舟。承载能力远远强于石英舟，且寿命是石英的5倍以上，产品精度为0.01mm。 | 碳化硅悬臂桨 碳化硅悬臂桨性能稳定、高温下不易变形，wafer装载量大，使用寿命长；是光伏wafer装载系统的关键部件；目前桨的长度上限为4900mm。 |
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